一种基于FBAR的宽波段非制冷红外探测器的制备方法

摘要

一种基于FBAR的宽波段非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域，解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和宽波段吸收带宽受限的问题，包括制备FBAR；FBAR上依次制备介质层和金属阵列层；制备读出集成电路衬底；连接读出集成电路衬底和FBAR；金属阵列层包括复数个金属单元，每个金属单元由至少三种不同尺寸的金属块组成。本发明的制备方法具有集成制造、批量生产、成本低廉等优势；通过在FBAR表面集成介质层和金属阵列层，实现非制冷红外探测器对红外光谱的增强吸收，同时实现宽波段吸收，制作简单且红外探测器探测性能优良；制得的探测器既有传统非制冷红外探测的优点，同时响应快速、探测灵敏度高。