超结功率器件的制备方法及超结功率器件

摘要

本发明提供了一种超结功率器件的制备方法和一种超结功率器件，其中，所述制备方法包括：在制备有衬底结构的第一外延层上形成掩膜层，并对所述掩膜层进行刻蚀处理；对所述第一外延层进行浅槽刻蚀处理，以形成与所述第一外延层接触的第一沟槽；对所述第一沟槽进行表面氧化处理形成氧化层，并对所述氧化层的底部进行刻蚀处理；对所述第一外延层进行深槽刻蚀处理，并去除剩余的所述掩膜层和所述氧化层，以形成第二沟槽；在所述第二沟槽中填充第二外延层，形成超结结构，以用于完成所述超结功率器件的制备。该技术方案，可以在最大限度增加金属层与体区的接触面积的同时，确保超结功率器件的耐压性能，提高产品良率，同时降低器件工艺上的成本。