一种硅基腔体屏蔽滤波器

摘要

本发明涉及一种硅基腔体屏蔽滤波器，采用MEMS工艺制成；包括第一基片、第二基片、中间层和金属悬置电路，第一基片和第二基片分别采用高阻硅基片，第一基片、中间层和第二基片依次层叠设置并结合成一硅腔结构；中间层上设有微波接地电极，硅腔结构的外表面上设有与微波接地电极连接的金属屏蔽层；第一基片与中间层之间形成有第一空气腔，和/或第二基片与中间层之间形成有第二空气腔；金属悬置电路设置在中间层的表面且悬置在第一空气腔或/和第二空气腔中。本发明的硅基腔体屏蔽滤波器，采用硅基MEMS工艺制成，使最终得到滤波器具有体积小、品质因子高、性能优异、集成性好、批量化等优点，可以实现更高集成度和更小体积的系统集成。