一种高真空环境下介质材料表面电位主动控制方法

摘要

本发明公开了一种高真空环境下介质材料表面电位主动控制的方法，消电过程是在高真空环境下进行，放电过程包括使用微波电源对磁控管供电产生2.45GHz电磁波，电磁波以TEM模式通过同轴波导馈送，并通过微波传输系统馈入微波同轴天线，微波同轴天线下端位于等离子体源体的等离子体室内，微波同轴天线在等离子体室内完成放电，并借助于等离子体源体在真空室内完成消电过程；在高真空环境下，通过微波同轴天线在等离子体室内击穿工作气体，形成等离子体，位于等离子体室内的环形永磁钢用于产生强度为0.0875特斯拉磁场，在磁场作用下形成高密度的电子回旋共振等离子体，通过等离子体调节板扩散至待处理工件环境，实现介质表面电荷的主动调节。