金属氧化物纳米粉末的等离子体合成及其装置

摘要

本发明提供了一种用于从金属化合物蒸气合成金属氧化物纳米粉末的方法和装置。尤其是公开了一种从 TiCl₄ 合成 TiO₂ 纳米粉末的方法和装置。金属化合物蒸气与氧化气体在电感应的RF频率等离子体中反应，由此形成金属氧化物蒸气。采用强湍流的气体骤冷区快速冷却金属氧化物蒸气，该骤冷区快速中止颗粒生长过程，与已知方法相比，生成了尺寸大大减小的金属氧化物颗粒。金属化合物蒸气还可与掺杂剂反应，生成掺杂的金属氧化物纳米粉末。此外，公开了一种用于在管道内合成涂覆的金属氧化物的方法和装置，其中，金属氧化物颗粒在强湍流气体骤冷区被冷却后，用表面试剂进行涂覆。