公开/公告号CN110643569B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-05-26
原文格式PDF
申请/专利权人 广州达瑞生殖技术有限公司;
申请/专利号CN201911204232.8
申请日2019-11-29
分类号
代理机构
代理人
地址 510663 广东省广州市黄埔区科学城南翔三路11号自编5栋达瑞楼3楼
入库时间 2022-08-23 10:59:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-26
授权
授权
2020-02-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C12N5/075 申请日:20191129
实质审查的生效
2020-01-03
公开
公开
机译: 抗蚀剂剥离液,使用该抗蚀剂剥离液的方法,抗蚀剂剥离液再生装置以及抗蚀剂剥离液管理装置
机译: 抗蚀剂剥离液,使用相同方法进行抗蚀剂剥离的方法,再循环抗蚀剂剥离液的装置以及处理抗蚀剂剥离液的装置
机译: 抗蚀剂剥离液,使用相同方法进行抗蚀剂剥离的方法,再循环抗蚀剂剥离液的装置以及处理抗蚀剂剥离液的装置