法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-19
授权
授权
2019-07-30
实质审查的生效 IPC(主分类):F28F13/00 申请日:20190328
实质审查的生效
2019-07-05
公开
公开
机译: 一种形成微表面结构的方法以及用于生产微机电部件,微表面结构以及具有这种结构的记忆体部件的方法
机译: 一种形成微表面结构的方法以及用于生产微机电部件,微表面结构和具有这种结构的被致动部件的方法
机译: 具有集成微镜的精细表面结构,用于3D多尺度显微镜