核/壳型纳米粒子研磨剂抛光液组合物及其制备方法

摘要

本发明涉及一种核/壳型纳米粒子研磨剂抛光液组合物及其制备方法，属表面抛光加工技术领域。本发明的抛光液，包含研磨剂、氧化剂和水，其特征在于该抛光液组合物中所采用的研磨剂为核/壳型纳米复合粒子研磨剂，即以传统的研磨剂如超细氧化铝、氧化硅、氧化锆、氧化铈、氧化钛、氧化铁、金刚石、或氮化硅中的任一种为内核，以亲水性高分子链段化合物或含有极性有机官能团化合物为外壳的研磨剂。本发明的抛光液适用于存储器硬盘基片或铝磁盘的化学机械抛光，其优点是可以降低表面的粗糙度(Ra)、波纹度(Wa)，并有效减轻抛光加工对硬盘基片表面的机械损伤，从而显著消除划痕、凹坑等表面微观缺陷。