法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-10
授权
授权
2018-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/027 申请日:20180131
实质审查的生效
2018-08-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20180131
实质审查的生效
2018-07-13
公开
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2018-07-13
公开
公开
2018-07-13
公开
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