控制由具有压电特性的材料形成的器件中的阈值电压的齿状栅极

摘要

粗略地描述，场效应晶体管具有支持沟道的第一压电层、位于第一压电层之上的第二压电层、具有由多个间隙分隔的多个介电片段的介电层以及具有主体和多个齿的栅极，介电层位于第二压电层之上。栅极的主体覆盖多个介电片段中的至少一个介电片段和多个间隙中的至少两个间隙。多个齿具有连接至栅极的主体的近端、通过多个间隙突出的中间部分以及通过至少第二压电层与第一压电层分隔的远端。介电层施加应力，在第一压电层中创建压电电荷，改变晶体管的阈值电压。