用于校正从目标裸片及参考裸片的比较所产生的差异图像的系统、方法及计算机程序产品

摘要

本发明提供一种用于校正从目标裸片及参考裸片的比较所产生的差异图像的系统、方法及计算机程序产品。在使用中，执行目标裸片图像的裸片内检验以针对每一关注图案产生第一代表性图像。执行参考裸片图像的裸片内检验以针对所述关注图案中的每一者产生第二代表性图像。进一步来说，比较所述目标裸片图像及所述参考裸片图像以产生至少一个差异图像，且使用所述所产生的第一代表性图像中的每一者及所述所产生的第二代表性图像中的每一者校正所述至少一个差异图像。接着使用所述经校正差异图像执行检测。