利用离子束加厚非晶四面体碳涂层的方法及装置及涂层

摘要

本发明公开了一种利用离子束加厚非晶四面体碳涂层的方法及装置及涂层，包括以下步骤：1、在基体表面制备非晶四面体碳涂层，当制备的非晶四面体碳涂层达到设定单次沉积厚度时，开启冷阴极潘宁离子源，用氩离子轰击基体表面。2、轰击2min‑12min后，关断冷阴极潘宁离子源，继续在基体表面制备非晶四面体碳涂层。3、重复上述步骤N次，直至制备的非晶四面体碳涂层达到设定总厚度。解决了现有技术中非晶四面体碳薄膜难以加厚的问题，本发明可以减小薄膜应力，加厚非晶四面体碳薄膜，延长涂层的使用寿命，实现工业化生产。