一种潘宁冷阴极离子源

摘要

本发明公开了一种潘宁冷阴极离子源，通过给阳极筒和阴极之间加放电电压，使得气体在放电室内产生放电，形成等离子体；并给阴极栅网和引出栅网之间加引出电压，使离子从放电室内等离子体中通过引出栅网的引出口引出。本发明通过第一气体分布室进行第一级分配，第一级分配通过较大的第一气体分布室，使之能够很快达到整个放电区分布，但不能做到均匀，再通过第二气体分布室进行第二级分配，第二级分配通过小的第二气体分布室分布均匀，使之可以均匀分布在整个放电区。解决了现有技术中由于潘宁冷阴极离子源对气流分布要求较高，做大尺寸引出较为困难的问题。本发明可以做大尺寸引出，能够对大尺寸样品表面进行处理。