公开/公告号CN108963079B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-03-17
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;
申请/专利号CN201710348478.7
申请日2017-05-17
分类号H01L51/30(20060101);H01L51/46(20060101);H01L51/05(20060101);H01L51/42(20060101);G01J1/42(20060101);B82Y30/00(20110101);
代理机构
代理人
地址 100084 北京市海淀区清华大学清华-富士康纳米科技研究中心401室
入库时间 2022-08-23 10:52:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-17
授权
授权
2019-01-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L51/30 申请日:20170517
实质审查的生效
2019-01-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/30 申请日:20170517
实质审查的生效
2018-12-07
公开
公开
2018-12-07
公开
公开
2018-12-07
公开
公开
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