用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构及其加工方法

摘要

本发明公开一种用于降低电子截获的场发射高精度双栅结构及其加工方法，双栅结构包括阴极基底、陶瓷底板、阴极、第一栅网金属片、第二栅网金属片、阳极板、第一陶瓷柱、第二陶瓷柱和第三陶瓷柱；阳极板设在陶瓷底板上方通过两个第一陶瓷柱连接，第二栅网金属片与第一栅网金属片结构相同且十字交叉设置，中心部均设有网孔位置对应的栅网，第一栅网金属片设在阳极板和陶瓷底板之间通过两个第二陶瓷柱连接；第二栅网金属片设在阳极板和第一栅网金属片之间通过两个第三陶瓷柱连接；阴极基底设在陶瓷底板底面中心部，阴极贯穿陶瓷底板与阴极基底顶面垂直连接。本发明结构及加工方法简单，能解决阴极与栅网孔之间的对中问题，能大幅度提高栅网的透过率。