在金属栓塞的化学机械研磨中的制程动态优化方法及系统

摘要

本发明提供一种在金属栓塞的化学机械研磨中的制程动态优化方法及系统，金属栓塞形成于目标材料层中，包括如下步骤：1）设定目标去除厚度与研磨参数在闭回路控制系统中；2）利用研磨参数，执行第一化学机械研磨步骤，以降低目标材料层的厚度达到在第一实际去除厚度的去除；3）测量第一化学机械研磨步骤中目标材料层被去除的第一实际去除厚度；4）依据目标去除厚度和第一实际去除厚度的差异，转换厚度差异成对应的研磨参数差值，以动态更新研磨参数；5）利用更新后的研磨参数，执行第二化学机械研磨步骤，以降低目标材料层的厚度达到在第二实际去除厚度的去除，藉此动态优化研磨参数。本发明可以精确控制研磨过程中去除的目标材料层的厚度。