光掩膜板清洗装置及清洗光掩膜板的方法

摘要

本发明涉及一种光掩膜板清洗装置，包括处理槽体、槽体上端的供气供液装置和槽体底部的排水排气管，所述的槽体内中心位置上下方向为光掩膜板转动机构，排水排气管均匀分部于槽体底部周边，供气供液装置盖上于槽体顶端，光掩膜板转动机构位于由供气供液装置、槽体以及排水排气管的中心处；在排气排水管上部沿槽体圆周方向偶数配置第一整流叶片；第一整流叶片从处理槽顶部开始，沿槽内壁倾斜到底部，中间凸起的弯曲叶片状；处理槽周围的侧壁从上到下不同直径呈弯曲状，侧壁以转动机构的回转轴为中心形成圆筒状。解决在清洗过程中停止转动光掩膜板时，表面出现水珠的现象的问题。