一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法

摘要

本发明提供了一种铜银纳米颗粒分散氧化物光学薄膜制备方法，属于金属纳米颗粒与无机非金属材料复合材料领域。在溅射设备内同时安装Cu、Ag和氧化物三个溅射靶，在每个溅射靶和基板前分别设置遮板，通过对金属和氧化物的沉积参数溅射靶的功率、氩气流量的单独控制，制备出具有纳米层状特征的铜银纯金属纳米颗粒分散氧化物复合薄膜；具体步骤为：先制备Cu或Ag纳米颗粒单层膜，再沉积氧化物膜，然后沉积Cu或Ag纳米颗粒单层膜，之后再沉积一层氧化物膜，制成具有层状结构的铜银纯金属纳米颗粒分散氧化物薄膜。其优点在于：此种铜银纳米颗粒分散氧化物层状薄膜中，铜银两种纳米颗粒以纯金属状态，在特定的波长处可观察到两个吸收峰，具有优良的非线形光学特性。