法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-14
授权
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2018-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/16 申请日:20180529
实质审查的生效
2018-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/16 申请日:20180529
实质审查的生效
2018-10-12
公开
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2018-10-12
公开
公开
2018-10-12
公开
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