用于控制微机械执行器的调节器、控制系统和方法以及微镜系统

摘要

本发明公开一种用于控制微机械执行器的调节器，调节器具有：第一信号输入端，用于接收参考信号；第二信号输入端，用于接收测量信号；第一调节器元件，用于在接收的参考信号中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或频率分量并输出经滤波的和/或衰减的参考信号；第二调节器元件，用于修改接收的测量信号并输出修改的测量信号；第三调节器元件，用于将经滤波的和/或衰减的参考信号和接收的测量信号之间的调节偏差最小化并输出经最小化的参考信号；第四调节器元件，用于对于至少一个预给定的频率旋转经最小化的参考信号和修改的测量信号的差的相位并将其作为控制信号向微机械执行器传输。本发明还公开相应控制系统、相应微镜系统和相应方法。