教学方法和使用教学方法的基板处理装置

摘要

公开的是一种设定将基板传送至支撑所述基板的可旋转支撑板上的机械手的位置的教学方法，该教学方法包括通过使用离心值设定所述机械手的位置，所述离心值通过执行利用所述机械手在所述支撑板上装载所述基板，以预设角度旋转所述支撑板，利用所述机械手将所述基板从所述支撑板卸载，并且多次检测定位在所述机械手的手上的所述基板的离心值的操作获得。