一种化学机械法金刚石膜抛光装置及其抛光方法

摘要

本发明公开了一种化学机械法金刚石膜抛光装置及其进行金刚石膜抛光的方法，该装置包括电机(2)、传动组件(1)、相互配合并可以连接传动的套筒套轴组件(8)以及它们之间的可以进行压缩的弹簧(9)、金刚石膜装夹组件(14)、抛光底盘(6)、绝缘隔热材料(7)、温控器(10)、温度热电偶(13)、继电器(12)、加热器件(5)及可升降工作台(15)；该发明可以对抛光的压力，转速，温度等参数进行调节，在不同条件下对金刚石膜进行抛光，装置可以实现金刚石膜的一次性精密抛光，最后的粗糙度和平整度都比较好，本装置结构简单，占地空间小，可以一次性进行精密级抛光，抛光精度高。