法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-05-01
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/268 登记生效日:20200410 变更前: 变更后: 申请日:20150623
专利申请权、专利权的转移
2019-12-13
授权
授权
2019-12-13
授权
授权
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20150623
实质审查的生效
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/268 申请日:20150623
实质审查的生效
2017-07-21
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/268 申请日:20150623
实质审查的生效
2015-12-30
公开
公开
2015-12-30
公开
公开
2015-12-30
公开
公开
2015-12-30
公开
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