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使用烷基铝氢化物形成以铝作为主成份的金属沉积膜的方法

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摘要

一种形成金属膜的方法，包括以下步骤：在空间中安置供形成膜所用的基片；向该空间中引入烷基铝氢化物气体及氢气；以及直接加热该基片而在该基片上形成含主成分为铝的金属膜。

著录项

  • 公开/公告号CN1036860C

    专利类型发明授权

  • 公开/公告日1997-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 佳能株式会社;

    申请/专利号CN91101919.7

  • 发明设计人 松本繁幸;池田敦;

    申请日1991-02-19

  • 分类号C23C16/20;

  • 代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人杜日新

  • 地址 日本东京

  • 入库时间 2022-08-23 08:54:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-04-27

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/20 授权公告日:19971231 终止日期:20100219 申请日:19910219

    专利权的终止

  • 2002-06-12

    其他有关事项

    其他有关事项

  • 1997-12-31

    授权

    授权

  • 1992-05-27

    公开

    公开

  • 1992-05-06

    实质审查请求已生效的专利申请

    实质审查请求已生效的专利申请

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