法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-11-29
授权
授权
2017-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B29/32 申请日:20170714
实质审查的生效
2017-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/32 申请日:20170714
实质审查的生效
2017-10-10
公开
公开
2017-10-10
公开
公开
2017-10-10
公开
公开
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机译: 单晶体生长装置的过滤装置,其能够防止单晶体生长装置和包括该过滤装置的单晶体生长装置的内部压力的控制不良。
机译: 单晶体生长装置的绝缘装置和包括其的单晶体生长装置
机译: 单晶体生长装置的绝缘装置和包括其的单晶体生长装置