具有经改善的温度均匀性的等离子体反应室部件

摘要

一个对等离子反应室有用的部件包括散热器如温度受到控制的支持构件(22)和被加热构件如加上电功率的喷头电极(20)。喷头电极被周边地固定在支持构件上以便在电极的顶面(30)和支持构件的底面(32)之间围成一个气体分布室。热传输构件(36)在电极和支持构件之间扩展，将来自喷头电极的顶面上的温度上升最高的区域的热量传输到支持构件的底面，以便对在喷头电极上的温度分布进行控制。