采用洗牌Benes级间连接规则的二维微光电机械光开关及其方法

摘要

本发明涉及一种构造二维微光电机械光开关的方法，还涉及使用该方法所制造的这种光开关以及使用该光开关的用于长途网状波分复用光网络中的光交叉连接器。该方法包括以下步骤：在N×N Benes互连体系中设置2log₂N-1级，其中N为输入/输出端口数，中间级是第1级，将各级由中间向两边依次标记为第2级、第3级、直至第log₂N级，从第1级开始每两级之间的水平距离为2^log2N-2p、2^log2N-3p、……、2p、p，其中p为相邻可动微镜之间的距离，这样就构成了可动微镜的矩阵阵列，在两个相邻级的中线上放置固定不动、相互平行且垂直于衬底的固定微镜。该方法采用洗牌Benes级间互连规则，它非常适合于建造大端口数的二维微光电机械光开关。而且它使所需微镜数目达到最少，放松了制作工艺和晶片尺寸的限制，同时降低了光束扩散损耗，减小了微镜尺寸和晶片尺寸，增强了端口到端口的重复性和降低了功率损耗。