一种用于大平板表面抛光的双级串联式磁控平面抛光装置

摘要

本发明公开了一种用于大平板表面抛光的双级串联式磁控平面抛光装置，包括紧固弹簧、紧固滑块、刮块、抛光带、容箱、抛光液、泵、高压喷嘴、导向板、第二铰链、两组电磁线圈、两个磁轭、三个第一铰链和三个抛光轮。三个抛光轮呈三角形分布，分别通过第一铰链与地面固连，抛光带套在上述三个抛光轮上，紧固弹簧一端与紧固滑块连接，另一端与地面连接，每个磁轭外侧壁上缠绕一组电磁线圈，两组电磁线圈串联，工件穿过上述两个磁轭的间隙，一端与第二铰链连接，另一端与紧固滑块接触，泵将容箱中的抛光液经过高压喷嘴在导向板的作用下引流到间隙中，刮块与抛光带接触，且位于容箱斜上方，该设计能够提供大平板表面较高精度的抛光。