低成本压力感测器制作方法及其结构

摘要

本发明是公开一种低成本压力感测器制作方法及其结构，利用铜、铝或其合金取代氧化铟锡(ITO)、银等做为导电层的材质，并将导电层做特殊的热处理，使其表面生成厚度不大于15纳米(nm)的氧化铜薄膜或氧化铝薄膜，氧化铜薄膜或氧化铝薄膜可提供绝缘层的效果。此外，本创作还改变堆叠方式，将原本用于承载的基板当作水气阻绝、保护层，可提升环测能力，省去封胶制程以及降低制作成本。