干涉计、使用其的分光光度计和目标位置数据设定方法

摘要

本发明提供干涉计、使用干涉计的分光光度计和目标位置数据设定方法，为了能够实现移动反射镜的往返移动的高速化，并尽可能地抑制其反转所需的瞬间最大推力的增加，并且保证移动反射镜的速度稳定性，所述干涉计包括移动反射镜、移动机构、移动控制部、以及测量部，其中，所述移动控制部接收表示所述移动反射镜的目标位置的目标位置数据，并且控制所述移动机构，以使所述测量部测量出的移动反射镜的测量位置接近所述目标位置数据所示的目标位置，所述移动控制部以如下方式设定所述目标位置数据：使所述目标位置数据所示的目标位置的时间变化波形成为水平切除三角波的顶点部分的梯形波、或成为使所述梯形波的角部分平滑变化的形状。