一种将砷化镓外延层转移至有机柔性衬底的方法

摘要

本发明提供了一种将砷化镓外延层转移至有机柔性衬底的方法，在有机柔性衬底和外延衬底上分别涂覆有机粘结剂；有机柔性衬底为有机薄膜，外延衬底为砷化镓衬底，砷化镓衬底与外延层之间加入GaInP阻挡层构成外延片，被两块石墨片夹紧的外延片及有机薄膜一起放入真空热压机中进行紧密贴附工艺；将贴附完成的外延片及有机薄膜一并取出，放入腐蚀液中进行衬底腐蚀去除砷化镓衬底，再用盐酸或磷酸腐蚀液去除GaInP阻挡层，制得柔性外延层。本发明通过有机薄膜作为外延转移支撑衬底，利用有机粘结剂和真空热压辅助贴合工艺提高可靠性和成品率，能够使砷化镓外延产品实现减轻重量、减薄厚度，柔性可弯折、耐酸碱环境，具有更广泛的应用范围。