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一种用于太阳电池的铜锌锡硫硒薄膜制备方法、该方法制备的薄膜及包含该薄膜的太阳电池

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摘要

本发明属于薄膜太阳电池技术领域，提供了一种用于太阳电池的铜锌锡硫硒薄膜制备方法、该方法制备的薄膜及包含该薄膜的太阳电池；该方法包括如下步骤：(1)在衬底温度450℃至550℃时，通过真空多源共蒸发法蒸发Cu、ZnS、Sn和Se；蒸发腔室的压强为3×10

1. 一种用于太阳电池的铜锌锡硫硒薄膜制备方法、该方法制备的薄膜及包含该薄膜的太阳电池 [P] . 中国专利： CN106684210B . 2019.08.27
2. 一种ZnCdS薄膜的制备方法及铜锌锡硫硒太阳电池的制备方法 [P] . 中国专利： CN112837997A . 2021-05-25
3. FABRICATION METHOD OF FLEXIBLE CZTS FILMS AND ITS APPLICATION TO THIN FILM SOLAR CELLS AND THIN FILM SOLAR CELLS [P] . 韩国专利： KR20150064930A . 2015-06-12

机译：柔性CZTS薄膜的制备方法及其在薄膜太阳电池和薄膜太阳电池中的应用
4. PREPARATION METHOD OF HYBRID THIN FILM SOLAR CELL AND HYBRID THIN FILM SOLAR CELL PREPARED THEREBY [P] . 韩国专利： KR101590512B1 . 2016-02-02

机译：混合型薄膜太阳电池的制备方法及由此制备的混合型薄膜太阳电池
5. CIGS FABRICATION METHOD OF CIGS ABSORBER LAYER AND THIN FILM SOLAR CELL USING DOUBLE INTRELAYERS AND THIN FILM SOLAR CELL [P] . 韩国专利： KR101831700B1 . 2018-02-23

机译：双整数层和薄膜太阳电池的cigs吸收层和薄膜太阳电池的cigs制备方法