加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合微结构阵列的方法与装置

摘要

加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合微结构阵列装置，包括激光发生器、真空腔、载物台、紫外滤光镜和气体流量控制单元；载物台以可拆卸固定的方式安装于真空腔内的底部，真空腔具有开启和密闭的通道；紫外滤光镜安装于真空腔，激光发生器发射激光透过紫外滤光镜照射到位于真空腔中的载物台，载物台用于放置待加工物；气体流量控制单元连通于真空腔，气体流量控制单元用于控制进入到真空腔中的气体；真空腔通过真空腔夹具固定安装于三轴精密运动平台。针对当前难以加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合材料微结构阵列的问题，本发明的目的在于提出一种加工聚苯乙烯、石墨烯纳米复合微结构阵列装置。