基于热刺激电流的固体介质的陷阱深度与密度检测方法

摘要

一种基于热刺激电流的固体介质的陷阱深度与密度检测方法，其特征在于，通过对固体介质薄膜进行热电刺激并检测其热刺激电流曲线，使用数值积分方法分析其中不同深度陷阱电荷释放造成的电流分量，并得到特征函数构成的二维矩阵，再使用基于非负线性最小二乘算法将测得的热刺激电流曲线作为输入，最终得到固体介质薄膜不同深度的陷阱的密度分布。本方法计算过程中不需对陷阱能级分布做假设，对整条曲线自动进行分析，排除了人为误差的可能性；另外，本方法能有效的避免错误数据的影响，例如负的电流数据，因此该方法更符合实际情况，具有更好的容错性。