法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-07-26
授权
授权
2018-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B7/28 申请日:20161121
实质审查的生效
2018-06-22
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/28 申请日:20161121
实质审查的生效
2018-05-29
公开
公开
2018-05-29
公开
公开
2018-05-29
公开
公开
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机译: 轮廓仪,相变显微镜或扫描探针显微镜的探头吊架
机译: 样品架还用于轮廓仪,位移相-干涉仪-显微镜或扫描探针显微镜
机译: 利用表面轮廓仪检测扫描电子显微镜检测厚度变化和定量深度