F-θ型光刻镜头

摘要

一种F‑θ型光刻镜头，包括沿入射光线的传输方向共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)和第四透镜(L4)；其中第一透镜(L1)为弯月透镜，第二透镜(L2)为弯月透镜，第三透镜(L3)为平凸透镜，第四透镜(L4)为平面透镜；第一透镜(L1)包括第一面(S1)和第二面(S2)，第二透镜(L2)包括第三面(S3)和第四面(S4)，第三透镜(L3)包括第五面(S5)和第六面(S6)，第四透镜(L4)包括第七面(S7)和第八面(S8)；第一面(S1)至第八面(S8)沿入射光线的传输方向依次排布；第一面(S1)至第八面(S8)的曲率半径依次为：‑29mm，‑88mm，‑56mm，‑36mm，∞，‑116mm，∞，∞；第一透镜(L1)至第四透镜(L4)的中心厚度(d1、d2、d3、d4)依次为：3mm，6mm，6mm，3mm。