改良电容式指纹感测单元、获取指纹的方法以及指纹传感器

摘要

本发明提供一种改良电容式指纹感测单元、获取指纹的方法及指纹传感器。该改良电容式指纹感测单元包括基底架构与指纹感测架构。指纹感测架构具有第一金属间介电层、第二金属层、第二金属间介电层、第三金属层与钝化层。通过连接第三金属层到瞬时电压抑制装置，可获得防静电放电功效。通过增加第一金属间介电层与第二金属间介电层的厚度，改良电容式指纹感测单元的灵敏度可获得改善。