电子化学品高纯盐酸的生产工艺方法和生产装置

摘要

本发明涉及气体吸收法生产电子化学品——高纯盐酸的方法和实现该方法的生产装置。通过使用本发明的方法和装置，可实现电子化学品——高纯盐酸的直接生产。本发明解决了氯化氢气体的提纯净化的难题，通过气体吸收可实现规模化生产高纯盐酸，其产品的金属杂质和阴离子含量符合VLSI生产用MOS级、BV-Ⅲ(等同SEMI-C7)产品标准对金属杂质和阴离子的要求。