基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置

摘要

基于摩擦驱动的静压气浮水平直线运动基准装置属于精密测量与仪器技术领域；该装置包括基准部分、驱动部分，基准部分和驱动部分通过驱动连接单元和支架平行安装；基准部分包括光栅尺、光电读数头、通气管道、精密气浮导轨、气浮导套；驱动部分包括驱动导轨、运动检测部件、制动轮、制动单元、驱动电机、摩擦轮框架、从动轮、主动轮；基准部分的气浮导套和驱动部分的驱动导轨固定安装在支架上；基准部分的精密气浮导轨和驱动部分的摩擦轮框架通过驱动连接单元相连；本发明可建立一种高直线运动精度和高定位精度兼顾的直线运动基准装置。