在大气压中产生环形体积-沿面DBD的实验装置

摘要

在大气压中产生环形体积‑沿面DBD的实验装置，属于等离子技术领域。主要由环形体积‑沿面DBD反应器(1)，电源系统(2)，供气系统(3)，和空间分辨光学诊断系统(4)组成。其中，放电等离子体由电源系统(2)激励，在环形体积‑沿面DBD反应器(1)中产生，由供气系统(3)提供放电的气体氛围，并保持一定的气体组分和流速，由空间分辨光学诊断系统(4)进行在线光学诊断。本发明集中了沿面DBD和体积DBD的优势，在沿面DBD高压电极的放电边缘增加了体积放电，形成了环形体积‑沿面介质阻挡放电结构，使得放电既能够具有高能效和高活性物种产量，又能使沿面DBD在空间尺度上得到更为便利的应用。