一种片上集成的宽带耦合光学微腔系统及其耦合方法

摘要

本发明公开了一种片上集成的宽带耦合光学微腔系统及其耦合方法。本发明采用制备在芯片上的非圆形光学微腔和光波导，非圆形光学微腔的微小变形使得原本只分布在圆形光学微腔边缘中的本征态回音壁模式延伸出进入到非圆形光学微腔的内部，形成“尾巴”；激光与非圆形光学微腔内的“尾巴”相位匹配，从而激发非圆形光学微腔的激发态的回音壁模式；同样的，非圆形光学微腔的回音壁模式能够通过其“尾巴”，折射到光波导中；光波导实现对非圆形光学微腔中回音壁模式的有效的宽带激发和收集，即完成了光波导和非圆形光学微腔的高效宽带耦合；非圆形光学微腔变形微小，故不会引入大的辐射损耗，使非圆形光学微腔能够保持高的本征品质因子(>10