一种透镜形状图形化蓝宝石衬底及其制备方法

摘要

本发明公开了一种透镜形状图形化蓝宝石衬底及其制备方法：在蓝宝石表面旋涂光刻胶并固化；利用短脉冲激光逐点扫描蓝宝石表面，形成透镜形状结构的阵列；去除蓝宝石衬底表面残余的光刻胶和激光烧蚀残渣，制得透镜形状的图形化蓝宝石衬底。本发明采用高能量激光直接轰击蓝宝石材料并在其表面形成三维几何图案，透镜形状图案的尺寸和间距可通过改变激光加工参数调整，制备工艺步骤少、加工效率高、成本低而且无需借助掩膜层，可实现在大尺寸蓝宝石衬底上制备出高质量、一致性好的透镜形状图案。