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图像处理方法、图像处理装置、图像处理程序及存储有图像处理程序的存储介质

摘要

观察系统(101A)中的图像处理方法包括:获取以半导体设备(S)为对象而测定的测定图像(G

著录项

  • 公开/公告号CN105849882B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2019-04-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浜松光子学株式会社;

    申请/专利号CN201480070583.3

  • 发明设计人 堀田和宏;

    申请日2014-11-13

  • 分类号

  • 代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司;

  • 代理人杨琦

  • 地址 日本静冈县

  • 入库时间 2022-08-23 10:31:40

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-04-30

    授权

    授权

  • 2016-09-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/66 申请日:20141113

    实质审查的生效

  • 2016-09-07

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20141113

    实质审查的生效

  • 2016-08-10

    公开

    公开

  • 2016-08-10

    公开

    公开

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