公开/公告号CN105423935B
专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-30
原文格式PDF
申请/专利号CN201510801294.2
申请日2015-11-19
分类号
代理机构北京华沛德权律师事务所;
代理人马苗苗
地址 100007 北京市东城区东直门北大街9号
入库时间 2022-08-23 10:31:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-30
授权
授权
2016-04-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/16 申请日:20151119
实质审查的生效
2016-04-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/16 申请日:20151119
实质审查的生效
2016-03-23
公开
公开
2016-03-23
公开
公开
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机译: 形态测量装置,形态测量方法,形态分析装置,形态分析程序以及存储该程序的记录介质
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