二次电子探测器,尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器

摘要

本发明涉及一种二次电子探测器(1)，尤其是扫描电子显微镜中的二次电子探测器。本发明的主题是提供一种二次电子探测器，其由位于探测器室(3)内的传感器(2)组成，一真空泵(10)与探测器室连接以使得该探测器室(3)内产生真空，该探测器室(3)接近所述传感器(2)的有效表面的壁被光阑封闭，形成对于气体的传输具有高阻抗、对于电子的传输具有低阻抗的特征。导电性隔栅(11)以铜屏幕的形式或具有孔(13)的卡普敦隔膜(12)的形式制造，并且其两面都有导电涂层(14，15)。上述导电性隔栅(11)在探测器室(3)外部覆盖有一输入隔栅(18)，其通常具有半球形状并且连接到80到150伏的低压源(19)。