法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-05-03
授权
授权
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20151030
实质审查的生效
2017-03-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20151030
实质审查的生效
2017-02-15
公开
公开
2017-02-15
公开
公开
机译: 用于曝光光刻工艺的UV LED光源模块单元以及使用该紫外led光源模块单元的曝光光刻设备
机译: 用于曝光光刻工艺的UV LED光源模块单元以及使用该紫外led光源模块单元的曝光光刻设备
机译: 用于曝光光刻工艺的UV LED光源模块单元以及使用该紫外led光源模块单元的曝光光刻设备