用于分析过程气体的过程气体分析器和方法

摘要

本发明涉及一种对引导进入设备部件(1)的过程气体(2)进行分析的过程气体分析器和方法。光源(7)的光(9)在透射了过程气体(2)后借助检测器(8)进行检测，并且在布置在后方的评估装置(18)中对在过程气体(2)中的吸收进行评估以得出分析结果(20)。在光源(7)和设备部件(1)之间以及在检测器(8)和设备部件(1)之间存在朝向设备部件(1)的内部开放的、由冲洗气体(12)洗涤的腔体或冲洗管道(10，11)。为了实现对由冲洗引起的测量误差的广泛的补偿，冲洗气体(12)的体积流量被周期性地调制，并且根据通过调制引起的、检测到的吸收的变化来确定并从分析结果(20)中移除冲洗气体(12)对分析结果(20)的影响。