一种CVD SiC绿色清洁生产装备

摘要

一种CVD SiC绿色清洁生产装备，其特征在于所述的生产装备包括CVD装置10、高温装置20、反应装置90、真空泵装置30、无空气给水装置60、盐酸收集装置40、干燥装置50与储气装置70，各装置依次通过钢管、铝塑管连接形成闭合回路，CVD装置位于高温装置与储气装置之间，通过不锈钢通气管道连接，真空装置与无空气给水装置通过管道连接，所述盐酸收集装置与无空气给水装置通过循环水管道连接，CVD装置数量为1～4套。本发明有益效果是(1)有效解决CVD生产过程尾气处理问题，实现尾气零排放；(2)实现H