制造警报探测系统的方法、制造压力传感器的方法以及压力传感器

摘要

一种制造过热或火警探测系统的方法，包括以下步骤：微机械加工压力传感器10，以及紧固传感器管(20，图2)使之与所述压力传感器10流体连通。所述传感器管可包括含有在加热时释出气体的材料的中空管(24，图2)。所述微机械加工步骤可包括掺杂第一层12的至少一部分13、至少部分地在所述经掺杂部分13内形成空腔19，以及在所述空腔上形成可变形隔膜14。