包括液态化学物质用的容器与化学物质供给源的系统以及包括液态化学物质用的容器与化学物质消耗装置的系统

摘要

本发明提供一种能够较佳地用作高纯度三氯氢硅那样的高纯度的液态化学物质用的容器的、尽可能防止液态化学物质的污染的液态化学物质用的容器。容器具备容器主体和附设于该容器主体的连接单元。连接单元包含化学物质流路及气体流路。在化学物质流路的伸出部配设有位于靠下游侧的位置的第一开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第二开闭阀部件。在气体流路上配设有位于靠下游侧的位置的第三开闭阀部件和位于靠上游侧的位置的第四开闭阀部件。连接单元还包含连结流路，该连结流路连结化学物质流路中的第一开闭阀部件与第二开闭阀部件之间的部位和气体流路中的第三开闭阀部件与第四开闭阀部件之间的部位。在连结流路上配设有第五开闭阀部件。